- 全自动晶圆粉体清洗机
详细信息
加工定制:是 品牌:科圣达 类型:机械臂式 适用领域:电子行业 用途:工业用 槽数:4 型号:KSD-JYQX 超声清洗频率:28KHZ 40KHZ 清洗温度:65 ℃ 工作方式:超声波震动+转动 外形尺寸:L500XW200XH280cm cm 功率:60KW
全自动晶圆粉体清洗机特点:
1、可更换清洗吸盘,可使用4-12英寸的清洗吸盘;
2、操作程序可按作业需求编写调整,设备运行流程、清洗时间及各项参数可自行编制;
3、设备运行状态及参数在线实时监控,自动门配有安全光栅,保证操作安全;
4、采用真空吸附式清洗盘,晶元夹具的取放更安全、方便;
5、全自动晶圆粉体清洗机摆臂式清洗,清洗范围可编制,适用范围广、无清洗盲区、无二次污染,清洗效果更佳;
6、设备清洗室全密封,且配有自动挡水圈,有效防止二次污染;
7、高速离心设计,转速可调节100-2000R/Min;
8、配备独特的静电消除装置,辅助清洗达到*佳效果,可选择使用氮气;
9、全自动晶圆粉体清洗机配有大面积透明观察窗;
10、缩减宽度的省空间设计,结构紧凑,占用空间小;
11、整机镜面不锈钢机身,能耐酸碱,对工作环境无污染,镜面机壳易于保养。
全自动晶圆粉体清洗机规格参数:设备外观尺寸: 620mm(L)×760mm(W)×1600mm(H) 清洗盘规格: 4-12英寸(可选) 清洗盘尺寸: 定制 纯水入口径: 外径Ø8mm纯水软管 排水出口径: 3/4″软管 气源入口径: Ø12mm PU气管 排风口口径: 2.5″皮管接头(75mm外径) 电源供应: AC220V; 50HZ ;5A 总功率: 1.5KW 耗电量: 清洗时: 1.5kw/h 待机时: 0.5kw/h 气源供应: 0.45-0.7Mpa DI水供应: >0.35Mpa 清洗压力: 3.8-8Kgf/cm² 离心转速: 100-2000R/Min 传动马力: 1HP 纯水消耗量: 0-1000ML/Min 气体消耗量: 200-500L/Min 空气过滤方式: 一级0.01μm除油过滤器;二级0.01μm精密过滤器 环境过滤方式: 0.3μm;99.99% 机器净重: 约200KG
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