- 半自动晶圆刻蚀机
详细信息
加工定制:是 品牌:科圣达 类型:通过式 适用领域:电子行业 用途:工业用 槽数:4 型号:KSD-JYQX 超声清洗频率:28KHZ 40KHZ 清洗温度:65 ℃ 工作方式:超声波震动+喷淋 外形尺寸:L500XW200XH280cm cm 功率:60KW
半自动晶圆刻蚀机特点:
1.真空腔规格: 材质316不锈钢 L270mm*W280mm*H200mm
2.电极:平板气浴电极,材质6061-T6铝合金 功率电极:1 接地电极:1
3. 电极尺寸:230mm *230mm(*大可处理产品尺寸,可处理8寸晶圆)
4. 半自动晶圆刻蚀机频率:13.56MHz
5. 功率:0-300W连续可调,可在设备运行中随时调整参数。
6. 气体控制:精密针阀式浮子流量计, 0-1000ml 2路气体
7. 半自动晶圆刻蚀机真空度测量仪器: 2色显示式高精度数字式压力开关(SMC)
8. 控制方式:4.3寸工业控制触摸屏,全手动控制和全自动控制两种控制方式
9. 控制软件功能:界面显示实时工作状态
10. 半自动晶圆刻蚀机规格尺寸:长600mm 宽600mm 高700mm
11.电极板配置:配备3个卡槽位(接地电极),极板间距离可调整,可按需求调整极板位置
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