扫一扫，手机浏览- 全自动晶圆退火前清洗机
详细信息
加工定制：是 品牌：科圣达 类型：机械臂式 适用领域：电子行业 用途：工业用 槽数：4 型号：KSD-JYQX 超声清洗频率：28KHZ 40KHZ 清洗温度：65 ℃ 工作方式：超声波震动+上下抛动 外形尺寸：L800XW200XH280cm cm 功率：60KW 全自动晶圆退火前清洗机设计的系统，独立系统，占地面积小，非常适合有限的空间。具有4路化学液清洗，兆声清洗，双面PVA刷洗，去离子水冲洗等清洗模块，对晶圆有顶级的清洗能力。
全自动晶圆退火前清洗机产品特色：
晶圆*大 300mm
PVA双面刷洗
支持4路化学液清洗，包括氨水与SCI液体
全自动晶圆退火前清洗机工作台含驱动组件，用于晶圆低速旋转（50-100 rpm）
化学清洗臂含 4 路化学液
具有去离子水和稀释氨分配的水坑喷嘴
全自动晶圆退火前清洗机具有带有流通孔的工艺室
标配三种不同化学品供应系统
工艺室外的手动去离子水枪。
化学液可加热，*高可达 60°C（*高85°C ）
外部可更换化学液
全自动晶圆退火前清洗机支持兆声清洗
支持高压等离子水冲洗
全自动晶圆退火前清洗机技术数据：
衬底尺寸: Ø200 mm (Ø8 inch) 或 Ø300 mm (Ø12 inch)
电机转速: *大 3.000 rpm, 步长 1rpm
电机加速: 1 至 999.9 秒，步长 0.1 s
全自动晶圆退火前清洗机工艺腔室: 由 PP 白色制成（可选 PVDF)
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深圳市科圣达超声波自动化设备有限公司咨询热线 13823746941 
全自动晶圆退火前清洗机
产业带货源页面价格仅供参考，具体请联系报价起批量 价格 - ≧1 台
￥450000.00
- 产品型号：KSD-JYQX
- 品 牌：科圣达
- 所 在 地：广东深圳宝安区
- 更新日期：2024-04-30
选择 1台起售 ￥450000.00 库存充足 -+合计：1台总价：450000.00元（联系我时，请说明是从谷瀑网看到的，谢谢！）店内推荐产品
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