扫一扫，手机浏览- 全自动晶圆*终清洗机
详细信息
加工定制：是 品牌：科圣达 类型：机械臂式 适用领域：电子行业 用途：工业用 槽数：4 型号：KSD-JYQX 超声清洗频率：28KHZ 40KHZ 清洗温度：65 ℃ 工作方式：超声波震动+喷淋 外形尺寸：L400XW200XH280cm cm 功率：60KW 全自动晶圆*终清洗机提供兆声单晶圆&掩模清洗(SWC)系统，用于先进的无损兆声清洗。可以适用于易受损的带图案或无图案的基片，包含带保护膜的掩模版。为了在确保不损伤基片的情况下达到优化的清洗效果，兆声能量的密度必须保持在稍稍低于样片上任意位置上的损伤阈值。NANO-MASTER的技术确保了声波能量均匀分布到整个基片表面，通过分布能量的z大化支持z理想的清洗，同时保证在样片的损伤阈值范围内。
全自动晶圆*终清洗机采用双面无接触的方式对晶圆进行清洗或蚀刻的专用设备，适用于2"-6"晶圆、4″- 8″晶圆、8″- 12″晶圆。
工艺过程可编程，适应不同工艺需求
可对正面及背面同时进行清洗或腐蚀
采用双手指机械臂传送晶圆
全自动晶圆*终清洗机采用双面无基础清洗载物台
配备药液控温单元
配备自动配药单元
可选配PVA刷洗功能
全自动晶圆*终清洗机可选配兆声单元
可选配自动灭火单元
全自动晶圆*终清洗机特点：
1、可更换清洗吸盘，可使用4-12英寸的清洗吸盘；
2、操作程序可按作业需求编写调整，设备运行流程、清洗时间及各项参数可自行编制；
3、设备运行状态及参数在线实时监控，自动门配有安全光栅，保证操作安全；
4、全自动晶圆*终清洗机采用真空吸附式清洗盘，晶元夹具的取放更安全、方便；
5、摆臂式清洗，清洗范围可编制，适用范围广、无清洗盲区、无二次污染，清洗效果更佳；
6、设备清洗室全密封，且配有自动挡水圈，有效防止二次污染；
7、高速离心设计，转速可调节100-2000R/Min；
8、配备独特的静电消除装置，辅助清洗达到*佳效果，可选择使用氮气；
9、全自动晶圆*终清洗机配有大面积透明观察窗；
10、缩减宽度的省空间设计，结构紧凑，占用空间小；
11、整机镜面不锈钢机身，能耐酸碱，对工作环境无污染，镜面机壳易于保养。
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深圳市科圣达超声波自动化设备有限公司咨询热线 13823746941 
全自动晶圆*终清洗机
产业带货源页面价格仅供参考，具体请联系报价起批量 价格 - ≧1 台
￥300000.00
- 产品型号：KSD-JYQX
- 品 牌：科圣达
- 所 在 地：广东深圳宝安区
- 更新日期：2024-04-30
选择 1台起售 ￥300000.00 库存充足 -+合计：1台总价：300000.00元（联系我时，请说明是从谷瀑网看到的，谢谢！）店内推荐产品
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深圳市科圣达超声波自动化设备有限公司 电话：13823746941 地址： 深圳市宝安区大浪街道水围村华庭路208号内容声明：谷瀑为第三方平台及互联网信息服务提供者，谷瀑（含网站、客户端等）所展示的商品/服务的标题、价格、详情等信息内容系由店铺经营者发布，其真实性、准确性和合法性均由店铺经营者负责。谷瀑提醒您购买商品/服务前注意谨慎核实，如您对商品/服务的标题、价格、详情等任何信息有任何疑问的，请在购买前通过谷瀑与店铺经营者沟通确认；谷瀑上存在海量店铺，如您发现店铺内有任何违法/侵权信息，请在谷瀑首页底栏投诉通道进行投诉。
